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回收多晶硅铸锭炉+徐州新沂涡轮分子泵回收的厂家

发布:2024/5/1 14:37:58 来源:shxj365
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所有腔体都经过缺陷炉室检查和探伤检验,并且经过0.6MPa水压试验和氦质谱检漏仪检漏。一、主炉体构造1、基座与板板设计成平板式,具有双层结构,通水冷却。四只电极穿过底板,在坩埚提升机构的波纹管连接处有一个水冷却法兰区。2、主、下炉室主、下炉室为双层筒状结构,两端为法兰结构,通水冷却,并有隔水条保冷却均匀。主炉室设置了一个测温计窗口,用于测量加热器温度。下炉室有抽真空和真空计接口(0~100Torr和0~1Torr)。下炉室在正常操作过程中始终用压板固定在板上,通过氟橡胶O型圈实现真空密封。3、炉盖炉盖为炉体和隔离阀座了一个过渡区。炉盖采用标准炉盖,双层通水冷却。在炉盖上设有一个操作者观察窗口(类椭圆形)和一个直径控制窗口(圆形)。电阻系数小,耐腐蚀,易于精密机等优点。本发明具有积极的效果(1)本发明的直拉式单晶生长炉中,经氩气 输入管输入的氩气气压为0. 8 x 103pa0. 9 x l03Pa,氩气流量为30L/min。 该氩气流量不但不影响该炉中单晶的生长,平均每个直拉式单晶生长炉每 天可少消耗1440L氩气,有效降低了生产成本,且利于在硅单晶生长过程 中单晶分子排列结构的整齐性,还利于提高电阻率的均布性。

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