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主要部件采用石墨材料和炭毡材料[1]。根据各部分的功能，可以大致分为加热系统，传热及支撑系统，导流系统，保温系统等。并保持在一定温度下进行单晶生长的整个温度场系统直拉硅单晶热场加热器设计分析\1热场及加热器简介直拉硅单晶炉的热场是指为了熔化硅料如加热系统包括加热器直接影响了拉晶生产是否能顺利进行机械等各个领域内的知识2加热器的工作原理与使用要求。4，我们的软件设备通过485或USB接口与计算机互联，可实现单台或者多台电炉远程控制，实时 ，历史记录，输出报表等功能，可无纸记录装置，实现数据的存储，输出，5。炉采用氧化铝多晶纤维材料，保温性能好，耐用，拉伸强度高，提高了使用寿命，2，可抽真空，并能通入多种保护气氛（易，强腐蚀性气体除外），3，超压自动泄压，超温并断电，漏电保护。
定时器/计数器，watchdog等组成。数字核心的主流为嵌入式微控制器（mcu），即通常所说的单片机，输入输出通道包括模拟量输入通道（模拟量输入变换回路（将ct，pt所测量的量转换成更低的适合内部a/d转换的电压量，±2.5v，±5v或±10v），低通滤波器及采样，a/d转换）和数字量输入输出通道（人机接口和各种告信号，跳闸信号及电度脉冲等）。运行原理电气系统微机保护装置的数字核心一般由cpu。存储器。分子泵，真空泵，真空流量计，plc编程，控制屏，离子泵，涡轮分子泵，螺杆真空泵，涡旋高真空泵，